对不起、我不是故意的 - 2008-8-27 11:40:00
激光电镀是古典工艺与现代技术相结合的一个典型,是一项新兴的高能束流电镀技术。运用激光技术可提高金属沉积速度,效率提高1000倍,当用一种连续激光或脉冲激光照射在电镀池中的阴极表面时,不仅提高了沉积速度,而且可以用计算机控制激光束的运动轨迹而得到预期的复杂几何图形的无屏蔽镀层。80年代又研究出一种激光喷射强化电镀的新技术,其传质速度大大超过激光照射所引起的微观搅拌的传质速度,进一步提高了沉积速度。
与普通电镀相比,其优点是:
①沉积速度快、如激光镀金可达1μm/s,激光镀铜可达10μm/s,激光喷射镀金可达12μm/s,镀铜可达50μm/s;
②金属沉积仅发生在激光照射区域、不屏蔽就可达到局部电镀的目的;
③结合力高;
④容易实现自动控制等,这对微电子器件和大规模集成电路的生产和修补具有重大意义。